| 发明名称 |
Pneumatic control system and method for shaping deformable mirrors in lithographic projection systems |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU8112901(A) |
申请公布日期 |
2002.02.18 |
| 申请号 |
AU20010081129 |
申请日期 |
2001.08.08 |
| 申请人 |
SILICON VALLEY GROUP INC |
发明人 |
ANDREW J. GUZMAN;CARLO LA FIANDRA;RONALD P. SIDOR;JORGE S. IVALDI;MICHAEL L. NELSON |
| 分类号 |
G02B26/08;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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