发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER GATEELEKTRODE FÜR EINE MOS-STRUKTUR
摘要
申请公布号 AT213094(T) 申请公布日期 2002.02.15
申请号 AT19960119052T 申请日期 1996.11.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 LUSTIG, BERNHARD, DR.
分类号 H01L29/78;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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