一种大量程位移传感器

摘要

本发明公开了一种大量程位移传感器,短音圈的动圈式音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12,12’),第一簧片(12)与音圈电机(1)的动子(7)连接在一起,测头(2)位于音圈电机(1)的下方,它包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17),保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连,触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18,18’)与电感铁芯(16)相连,电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联;计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。本发明可实现表面形貌的大量程、高精度测量,且结构简单、使用方便、成本低廉。

主权项

1.一种大量程位移传感器，包括执行机构、信号处理电路、计算机和控制电路，其特征在于：所述的执行机构为短音圈的动圈式音圈电机(1)，所述信号处理电路为A/D转换电路(4)，所述控制电路为D/A转换电路(51)；音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12，12’)，第一簧片(12)与位于其下方的音圈电机(1)的动子(7)连接在一起，音圈电机(1)的下方设置有测头(2)，测头(2)包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17)，保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连，触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18，18’)与电感传感器(14)的电感铁芯(16)相连，电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联；计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。