发明名称 异丙醇晶片干燥器改良结构
摘要 一种异丙醇晶片干燥器改良结构,其主要由数个晶片支撑杆和至少一个转轴所构成,该数个晶片支撑杆与转轴互相平行排列,各个晶片支撑杆分别具有数个彼此平行的凹槽,以供数个晶片置放于其上,而晶片边缘与转轴接触,借此,于注入异丙醇蒸气以带入水气的过程中,该晶片能受转轴带动而旋转,以增加去除水气的能力。
申请公布号 CN2476099Y 申请公布日期 2002.02.06
申请号 CN01219760.2 申请日期 2001.04.20
申请人 矽统科技股份有限公司 发明人 荘娟茹;蔡榮辉;曾素玲
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 隆天国际专利商标代理有限公司 代理人 潘培坤;陈红
主权项 1、一种异丙醇晶片干燥器改良结构,其主要是设有数个晶片支撑杆,该晶片支撑杆分别具有数个彼此平行的凹槽,使数个晶片能置放于其上,其特征在于:该干燥器内至少增设有一个转轴,该转轴与晶片支撑杆互相平行排列,晶片边缘与转轴接触。
地址 台湾省新竹科学工业园区
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