发明名称 | 异丙醇晶片干燥器改良结构 | ||
摘要 | 一种异丙醇晶片干燥器改良结构,其主要由数个晶片支撑杆和至少一个转轴所构成,该数个晶片支撑杆与转轴互相平行排列,各个晶片支撑杆分别具有数个彼此平行的凹槽,以供数个晶片置放于其上,而晶片边缘与转轴接触,借此,于注入异丙醇蒸气以带入水气的过程中,该晶片能受转轴带动而旋转,以增加去除水气的能力。 | ||
申请公布号 | CN2476099Y | 申请公布日期 | 2002.02.06 |
申请号 | CN01219760.2 | 申请日期 | 2001.04.20 |
申请人 | 矽统科技股份有限公司 | 发明人 | 荘娟茹;蔡榮辉;曾素玲 |
分类号 | H01L21/304 | 主分类号 | H01L21/304 |
代理机构 | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤;陈红 |
主权项 | 1、一种异丙醇晶片干燥器改良结构,其主要是设有数个晶片支撑杆,该晶片支撑杆分别具有数个彼此平行的凹槽,使数个晶片能置放于其上,其特征在于:该干燥器内至少增设有一个转轴,该转轴与晶片支撑杆互相平行排列,晶片边缘与转轴接触。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学工业园区 |