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发明名称 SYSTEM FOR TREATING WAFERS
摘要
申请公布号 EP1177573(A2) 申请公布日期 2002.02.06
申请号 EP20000940170 申请日期 2000.05.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 GOETZKE, MICHAEL
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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