| 摘要 |
본 발명에 따르면, 컬러 수상관용 새도우 마스크를 형성하기 위하여 얇은 금속 시트(32)에 개구(44)를 에칭하는 개선된 방법에 있어서, 금속 시트는 하나의 주면(major surface)상에 제1 내산성 형판(acid-resistant stencil)(38)을 구비하고 또 다른 하나의 주면상에 제2 내산성 형판(40)을 구비한다. 내산성 형판 중 적어도 하나는 그 내산성 형판 내에 개구를 형성하고자 하는 위치에 개방부(42)를 갖는다. 본 발명에 따른 개선된 방법은 금속 시트를 편평한 자기 어셈블리(30)로 자기적으로 유지하는 단계와, 상부에 금속 시트를 자기적으로 유지하는 자기 어셈블리를 에칭 챔버(12)를 통과시키는 단계를 포함한다. 자기 어셈블리는 내산성 보드(34) 위에 지지되는 자기층(36)을 포함한다. |
