发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG BARRIERENFREIER HALBLEITERSPEICHERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号 DE59705912(D1) 申请公布日期 2002.01.31
申请号 DE19975005912 申请日期 1997.09.11
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHINDLER, GUENTHER;HARTNER, WALTER;HINTERMAIER, FRANK;MAZURE-ESPEJO, CARLOS
分类号 H01L21/3205;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/320;H01L21/824 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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