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发明名称 Semiconductor device inspection system
摘要
申请公布号 EP0635883(B1) 申请公布日期 2002.01.30
申请号 EP19940305267 申请日期 1994.07.18
申请人 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. 发明人 INUZUKA, EIJI;OGURI, SHIGEHISA;SUZUKI, KOUJI;NAGATA, WATARU;HIRUMA, YASUSHI
分类号 G01N21/63;G01N21/88;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88;H04N3/15;G01R31/311 主分类号 G01N21/63
代理机构 代理人
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