包括波状梁结构的微机电致动器

摘要

在本发明的一个实施例中,微机电致动器包括:一个梁,它具有分别连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间具有波状形状的主体。主体包括与致动对象连接并响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力在垂直于梁的方向上对致动对象施加力的工作部分。该波状形状可为正弦波,如为接近余弦曲线单个周期或正弦曲线单个周期。该梁可被热致动或由另外致动器驱动。在另一实施例中,旋转致动器包括第一及第二梁,其中每个梁具有连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间的主体。每个主体包括第一及第二相反弯曲的部分。第一及第二梁的主体彼此相交在第一及第二梁的主体的第一及第二相反弯曲部分的会合点上。第一及第二梁的主体被操作及与致动对象连接,以响应作用于第一及第二梁的压缩力及张力中至少一种力使致动对象绕相交点转动。并描述了相应的方法。

主权项

1.微机电致动器(100，200，1300)，包括一个衬底(101，201)，其特征在于，该微机电致动器包括：一个梁(110，210)，它具有分别连接在衬底上的第一及第二端部(110a，110b；210a，210b)及分布在第一及第二端部之间具有波状形状的主体(110c；210c)，主体包括与致动对象(10，20)连接并响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力在垂直于梁的方向上对致动对象施加力(Fa)的工作部分。