| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 생산라인 내에 있는 다수의 운송장치의 동작상태를 감시하기 위한 방법에 관한 것으로, 생산라인 내의 다수의 운송장치에 대한 동작상태를 생산라인 밖에 있는 관리 기술자가 하나의 화면을 통해 실시간으로 감시함으로써, 운송장치의 오류 발생시 이에 신속하게 대응할 수 있도록하기 위하여, 반도체 생산라인에서 카세트를 운반하는 다수의 운송장치를 감시하기 위한 방법에 있어서, 호스트 제어서버가 운송장치 제어서버로부터 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 새로운 정보를 수신하는 제1단계; 상기 호스트 제어서버가 모든 운송장치에 관련된 정보를 상기 수신된 새로운 정보로 갱신하고, 상기 수신된 정보를 통해 오류가 발생된 운송장치를 확인하는 제2단계; 상기 호스트 제어서버가 그에 저장된 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 단말기로 송신하는 제3단계; 및 상기 단말기가 그에 전송된 상기 다수의 운송장치의 동작상태 및 위치에 대한 정보를 시각적으로 표출시키는 제4단계를 포함하는 웨이퍼 카세트의 운송장치 감시방법을 제공한다.</p> |
