发明名称 载体清洗的被动致动阀
摘要 本发明公开了设置用于SMIF容器的阀(30),用于启动或停止流向平台(20)上的容器的气流。该阀(30)包括可以在第一闭合位置和第二开启位置之间移动的提动头。在支承平台(20)上没有容器时,来自气体源的加压气体偏压提动头进入第一位置。
申请公布号 CN1332686A 申请公布日期 2002.01.23
申请号 CN99815317.6 申请日期 1999.12.01
申请人 阿西斯特技术公司 发明人 威廉·J·福斯耐特;乔舒亚·W·申克
分类号 B65B1/04 主分类号 B65B1/04
代理机构 柳沈知识产权律师事务所 代理人 李晓舒
主权项 1.一种当载体与支承表面接触时用来自气体源的气体清洗载体的系统,包括:能够安装在支承平台内的阀,使得所述阀的一部分在没有受到偏压所述部分进入所述表面的力时该部分越过支承表面,该阀可以具有防止气体通过该阀的第一状态和气体通过阀而清洗载体的第二状态;其中载体施加到所述阀突出所述支承表面的所述部分上的力能够致动所述阀,使其由第一状态变换到第二状态。
地址 美国加利福尼亚州