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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4834671(A) 申请公布日期 1973.05.21
申请号 JP19710068901 申请日期 1971.09.08
申请人 发明人
分类号 C23C8/06;C30B31/06;H01L21/223;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 C23C8/06
代理机构 代理人
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