METHOD FOR PRODUCING AN INSULATION COLLAR IN A TRENCH CAPACITOR

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Grabenkondensators vorgeschlagen, bei dem nach Bildung des Grabens zunächst eine isolierende Schicht (35), aus der später der Isolationskragen (75) gebildet werden soll, abgeschieden wird. Danach wird der Graben (10) mit einem Opferfüllmaterial (40) teilweise befüllt und darauf eine dünne Strukturierungsschicht (55) abgeschieden. Aus dieser werden Spacer gebildet, die die isolierende Schicht (35) im oberen Bereich (45) des Grabens (10) bedecken. Anschliessend werden das Opferfüllmaterial (40) und die isolierende Schicht (35) im unteren Bereich (50) des Grabens (10) vollständig entfernt. Dadurch entsteht im oberen Bereich (45) des Grabens (10) der Isolationskragen (75).