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发明名称 Non-destructive analysis of a semiconductor using reflectance spectrometry
摘要
申请公布号 AU743188(B2) 申请公布日期 2002.01.17
申请号 AU19990035718 申请日期 1999.04.20
申请人 ALEXANDER P. CHERKASSKY 发明人 ALEXANDER P. CHERKASSKY
分类号 G01B11/06;G01N21/00;G01N21/35;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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