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发明名称 LITHOPRAPHIC APPARATUS FOR STEP-AND-SCAN IMAGING OF A MASK PATTERN
摘要
申请公布号 EP0823977(B1) 申请公布日期 2002.01.16
申请号 EP19970902537 申请日期 1997.02.25
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V. 发明人 VAN DEN BRINK, MARINUS, AART;STRAAIJER, ALEXANDER
分类号 H01L21/027;G03F7/22;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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