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发明名称 STAMP FOR USE IN A LITHOGRAPHIC PROCESS, METHOD OF MANUFACTURING A STAMP, AND METHOD OF MANUFACTURING A PATTERNED LAYER ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1171800(A1) 申请公布日期 2002.01.16
申请号 EP20010900145 申请日期 2001.01.10
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 BLEES, MARTIN, H.
分类号 B41K1/02;G03F7/00;H01L21/48;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 B41K1/02
代理机构 代理人
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