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发明名称
摘要
申请公布号	JP3247100(B2)	申请公布日期	2002.01.15
申请号	JP20000218326	申请日期	2000.07.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/285;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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