发明名称 VACUUM SYSTEM
摘要
申请公布号 PL348443(A1) 申请公布日期 2002.01.14
申请号 PL20010348443 申请日期 2001.07.04
申请人 EVAC INTERNATIONAL OY 发明人 HYVARINEN JOUNI;NASKI TOMMI
分类号 E03F5/22;E03F1/00;(IPC1-7):E03F3/02 主分类号 E03F5/22
代理机构 代理人
主权项
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