| 主权项 |
1.一种积体化气体控制装置,其特征为,具备:基板; 本体,具有开放于该本体下面之气体流入通路及气 体流出通路的复数种气体控制机器;上部具有插入 上述气体控制机器本体之插入孔,上部周围具有螺 丝,下部水平方向具有连通上述插入孔的贯穿孔之 机器安装块;设于上述各气体控制机器之本体外围 ,在该本体插入上述机器安装块之插入孔的状态下 ,栓锁于上述螺丝将上述本体安装于上述机器安装 块之连接筒;中央部具有固定于上述基板之固定部 ,上述固定部之两侧部具有可插入相邻之上述机器 安装块的贯穿孔相对侧之相对侧一侧部的插入部, 开放于上述两侧之插入部上部,具有自该开放部与 上述气体控制机器之气体流入通路及气体流出通 路连通之气体通路的中间流路块;中间部具有固定 于上述基板之固定部,上述固定部之一侧部具有连 接部,上述固定部之另一侧部具有可插入位于终端 的上述机器安装块贯穿孔之终端侧部的插入部,开 放于上述插入部上部,具有可藉此开放部与上述气 体控制机器之气体流入通路及气体流出通路任一 侧连通之气体通路的终端流路块;将上述中间流路 块之固定部固定于上述基板上的固定手段;及,将 上述终端流路块之固定部固定于上述 基板上之固定手段。2.如申请专利范围第1项记载 之积体化气体控制装置,其中各气体控制机器的本 体具有下面呈平坦面,同时气体流入通路及气体流 出通路之周围缘部具有密封焊道,中间流路块及终 端流路块之插入部上部具有相对于上述本体平坦 面的平坦面,同时各气体通路周围缘部具有密封焊 道,上述本体的平坦面与上述插入部的平坦面之间 具备以上述各密封焊道的嵌入状态间隔之金属垫 片。 3如申请专利范围第2项记载之积体化气体控制装 置,其中机器安装块之贯穿孔系形成剖面呈圆形的 同时,以缺口形状连通插入孔的底部与上述圆形的 一部份,中间流路块及终端流路块之插入部系形成 对应上述贯穿孔之圆柱形,以上述插入部上部对应 上述贯穿孔的缺口形状缺口形成平坦面状者。 4.如申请专利范围第1项记载之积体化气体控制装 置,其中各气体控制机器之本体及机器安装块,具 备将上述本体插入上述机器安装块之插入孔时,使 上述本体之气体流路通路与气体流出通路与中间 流路块、终端流路块之任一气体通路开放部连通 用之定位手段。 5.如申请专利范围第1项记载之积体化气体控制装 置,其中机器安装块之上部周围的螺纹系形成外围 之外螺纹,将各气体控制机器安装于上述机器安装 块之连接筒,其内周围具有内螺纹,可将此内螺纹 栓锁于上述外螺纹者。 6.如申请专利范围第1项记载之积体化气体控制装 置,其中相对于中间流路块之基板的固定手段系具 备配置于夹持中间流路块之气体通路的两侧,形成 于基板之螺孔;上述中间流路块之固定部上对应上 述螺孔形成之螺栓插穿孔;及,从上述固定部上方 插穿上述螺栓插穿孔而栓锁于上述螺孔之螺栓。 7.如申请专利范围第1项记载之积体化气体控制装 置,其中相对于终端流路块之基板的固定手段系具 备配置于夹持终端流路块之气体通路的两侧,形成 于基板之螺孔;上述终端流路块之固定部上对应上 述螺孔形成之螺栓插穿孔;及,从上述固定部上方 插穿上述螺栓插穿孔而栓锁于上述螺孔之螺栓。 8.如申请专利范围第1项记载之积体化气体控制装 置,其中气体控制机器为可选择使用自动膜片阀、 肘节式手动膜片阀、滤器单元、附止回阀之自动 膜片阀、减压阀、调节器、流量控制器、流量控 制计等。图式简单说明: 第一图是表示本发明一实施形态的积体化气体控 制装置之上视图。 第二图是表示同一积体化气体控制装置之前视图 。 第三图是表示同一积体化气体控制装置之部份剖 面前视图。 第四图是表示同一积体化气体控制装置,除去气体 控制机器的状态之上视图。 第五图是表示同一积体化气体控制装置,除去气体 控制机器的状态之部份剖面上视图。 第六图是表示同一积体化气体控制装置,除去气体 控制机器的状态之中央部份纵剖视图。 第七图之(a)、(b)、(c)是分别表示使用同一积体化 气体控制装置之机器安装块的上视图、侧视图、 中央部份纵剖视图。 第八图之(a)、(b)、(c)是分别表示使用同一积体化 气体控制装置之中间流路块的上视图、侧视图、 中央部份纵剖视图。 第九图之(a)、(b)、(c)是分别表示使用同一积体化 气体控制装置之终端流路块的上视图、侧视图、 中央部份纵剖视图。 第十图是表示习知例之积体化气体控制装置的部 份剖面前视图。 |
