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发明名称 Alternierende Phasenmaske
摘要
申请公布号 DE19957542(C2) 申请公布日期 2002.01.10
申请号 DE1999157542 申请日期 1999.11.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 PFORR, RAINER;FRIEDRICH, CHRISTOPH;HEISSMEIER, MICHAEL;MOUKARA, MOLELA;GRIESINGER, UWE;LUDWIG, BURKHARD
分类号 G03F1/30;G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/14 主分类号 G03F1/30
代理机构 代理人
主权项
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