| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Substraten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10007439(C2) |
申请公布日期 |
2002.01.10 |
| 申请号 |
DE20001007439 |
申请日期 |
2000.02.18 |
| 申请人 |
STEAG MICROTECH GMBH |
发明人 |
RIEDEL, THOMAS;WOLKE, KLAUS |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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