发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20020002390(A) 申请公布日期 2002.01.09
申请号 KR1020017010379 申请日期 2001.08.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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