非晶形硬碳膜,机械部件及生产非晶形硬碳膜的方法

摘要

当金属氧化物被包含在膜内时,非晶形硬碳膜从滑动开始便具有低摩擦系数。膜与基底的粘附力由于RF等离子体增强CVD方法的低温处理也被提高。该膜能用于许多在恶劣条件下使用的滑动件上,如活塞环,压缩机翼片和燃油喷射泵柱塞。

主权项

1.主要含有碳和氢的非晶形硬碳膜，其特征在于该膜内还含有金属氧化物。