| 主权项 |
1.一种用以测量级台镜(22)之位置变化的装置(10),其系在该级台镜(22)在第一和第二位置间移动时参考一个参考镜(22)而量测该级台镜(21)的位置,该装置(10)包含:一个光源(11)用以产生第一和第二相符合光束,该第一光束(12)有一波长1,而该第二光束(13)有一波长2,其中1=M2,该第一光束(12)包含频率上相差一第一拍频Fref(1)之两正交偏振成分,而该第二光束(13)包含频率上相差一第二Fref(2)之两正交偏振成分,其中Fref(2)=MFref(1),M是一个大于1的整数;一个偏振决定光束分离器(17),用以使每一个光束该等正交偏振成分的其中之一指向该参考镜(21),和使该每一个光束该等正交偏振成分的另外一个指向该级台镜(22),且用以在该等正交偏振成分已经被该参考镜(21)或该级台镜(22)反射后重组该等正交偏振成分;一个第一检测器(23)用以于该第一光束(12)的该等正交偏振成分已被该偏振决定光束分离器(17)重组之后检测该第一光束(12)的光强度,该第一检测器(23)产生具有与该第一检测器(23)处的光强度相同大小之一个第一检测(23)信号,该第一检测器(23)信号振荡于一瞬间频率F1(t):一个第二检测器(24)用以于该第二光束(13)的该等正交偏振成分已被该偏振决定光束分离器(17)重组之后检测该第二光束(13)中的光强度,该第二检测器(24)产生具有与该第二检测器(24)处的光强度相同大小之一个第二检测器(24)信号,该第二检测器(24)信号振荡于一瞬间频率F2(t);一个参考信号产生器(27)用以产生振荡于该第二拍频之一个参考信号;一个光学路径测量电路(31)用以测量该第二检测器(24)信号与该参考信号产生器(27)之间在该级台镜(22)从该第一位置移动至该第二位置的期间的振荡量差异,且用于产生表示该差异的一个光学路径信号;以及一个校正项电路(33)用以测量包含MF1(t)-F2(t)的一信号中在该级台镜(22)由该第一位置移至该第二位置的期间之振荡量,且用以产生表示该测得振荡量的一个校正讯号。2.如申请专利范围第1项之装置(10),其更包含用以形成一个该光学路径信号与该校正信号间的线性加权差之一个电路(34)。3.如申请专利范围第1项之装置(10),其中该校正项电路(33)包含用以产生具有该第一检测器(23)信号M倍频率的一个信号之频率倍增电路(34),和用以自该第二检测器(24)信号减去所产生信号之一个混合器(32)。4.如申请专利范围第1项之装置(10),其中M=2。5.如申请专利范围第1项之装置(10),其中在该参考信号产生器(27)包含用以使该第二光束(13)的一部份指向一个光检测器(27)之一个光束分离器(16),该光检测器(27)产生该参考信号。图式简单说明:第一图是一个依据本发明之雷射干涉计的方块图。 |
