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<p>Ein Mikroskop und ein Verfahren zur quantitativen optischen Messung der Topographie einer Oberfläche eines Werkstückes wird vorgeschlagen. Es zeichnet sich durch einen Differential-Interferenz-Kontrast-Mikroskopaufbau nach Nomarski mit einer Lichtquelle, einem Polarisator, einem veränderbaren Nomarski-Prisma und einem Analysator, bei dem die Lichtquelle ein enges Frequenzspektrum besitzt und/oder die Lichtquelle mit einem Spektralfilter mit engem Frequenzspektrum ausgerüstet ist und bei dem eine Phasenverschiebungsinterferometrie-Auswerteeinheit vorgesehen ist, aus.</p> |
