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发明名称 SYSTEM FOR HORIZONTALLY AND VERTICALLY TRANSFERRING WAFER WITH COVER PREVENTING LEAKAGE OF GREASE
摘要
申请公布号 KR20010111540(A) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 KR20000032166 申请日期 2000.06.12
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, CHAE OK;KIM, WON SEOP;LIM, CHAE YANG
分类号 (IPC1-7):H01L21/68 主分类号 (IPC1-7):H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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