用于一个外延反应器的反应腔

摘要

一种改进的用于外延反应器的反应腔(10),反应腔包括一个由绝缘和透明材料例如石英制成的钟形罩(14),一个设有用于承接由要处理的材料制成的晶片(36a－n)的盘形腔(34a－n)并具有一个设置在其上的绝缘和化学阻抗板(40)的衬托(24),以及一个包括多个安装在一个固定在钟形罩(14)的一个上开口(50)上的盖(52)上的出口管件(106a－f)。

主权项

1.一种改进的用于外延反应器的反应腔，反应腔包括一个由绝缘和透明材料例如石英制成的钟形罩(14)，一个设有用于承接由要处理的材料制成的晶片(36a-n)的盘形腔(34a-n)并具有一个设置在其上的绝缘和化学阻抗板(40)的衬托(24)，其特征在于，使用一个由一个盖(52)形成的扩散器(54)，盖由一个连接在一个具有多个长度相同的管件(106a-f)上的对称环形分散腔(104)的中心顶件(88)提供，管件将盖的所述环形腔(104)连接到紧位于一个颈部(46)之下的钟形罩的一个顶区(42，44)上，颈部将一个上法兰(48)连接到顶区(42，44)上，所述多个管件(106a-f)确保在低速下流量均匀分布；一个在支撑在衬托之上的板(40)之上延伸的钟形罩(14)的圆柱形区，以避免在板(40)和台肩(42)之间的任何干涉；一个钟形罩(14)的较小的内径，以保持钟形罩(14)尽可能地远离衬托(24)；以及在衬托(24)的角上在其上区突出的挡板(122a-g)插入形成在所述衬托(24)的主体内的凹部中，所述挡板(122a-g)具有约等于衬托角的一半的长度。