液晶显示装置及其制造方法

摘要

提供一种液晶显示装置及其制造方法。在该液晶显示装置中,具有位于一对基板的至少一方上的电极群,其至少由多条栅极布线和多条数据布线构成;配置有薄膜晶体管;栅极布线和数据布线的至少一方,用Al合金膜和在其上的其它金属的上层膜的叠层布线构成;通过接触孔连接上述Al合金膜和透明导电膜;上述Al合金膜中的添加元素的浓度分布,在Al合金膜的表层部分比内层部分高。

主权项

1.一种具有至少一方为透明的一对基板，被夹持在该一对基板之间的液晶层，配置在上述一对基板的至少一方上的电极群，且借助于上述电极群使上述液晶层的液晶动作来控制显示的液晶显示装置，其构成为：配置在上述一对基板的至少一方上的上述电极群，由至少多条栅极布线和形成为使得与该多条栅极布线进行交叉的多条数据布线构成，与上述多条的栅极布线和上述多条数据布线的各个交点对应地配置薄膜晶体管，上述栅极布线和上述数据布线的至少一方，用Al合金膜和在上述Al合金膜之上的具有Al以外的金属的上层膜的叠层布线构成，通过在覆盖上述叠层布线的绝缘膜上形成的接触孔，连接上述Al合金膜和透明导电膜，上述Al合金膜中的添加元素的浓度分布，在Al合金膜的表层部分比内层部分高。