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发明名称 Planarization technique
摘要
申请公布号 EP0587335(B1) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 EP19930306617 申请日期 1993.08.20
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHAN, TSIU CHIU;BRYANT, FRANK RANDOLPH
分类号 H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/768;H01L21/310 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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