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发明名称 METHOD OF MAKING A PVD AL2
摘要
申请公布号 PL345385(A1) 申请公布日期 2001.12.17
申请号 PL20000345385 申请日期 2000.05.03
申请人 SANDVIK AB;FRAUNHOFER INSTITUT ELEKTRONEN STRAHL- UND PLASMATECHNIK 发明人 SCHILLER SIEGFRIED;GOEDICKE KLAUS;FIETZKE FRED;ZYWITZKI OLAF;SJOESTRAND MATS;LJUNBERG BJOERN
分类号 B23C5/16;B23B27/14;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35;C23C30/00;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 B23C5/16
代理机构 代理人
主权项
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