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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU FILTERN VON MAKROPARTIKELN AUS EINEM PLASMASTRAHL
摘要
申请公布号 AT210337(T) 申请公布日期 2001.12.15
申请号 AT19960903119T 申请日期 1996.02.20
申请人 FILPLAS VACUUM TECHNOLOGY PTE LTD. 发明人 SHI, XU;FLYNN, DAVID, IAN;TAY, BENG, KANG;TAN, HONG, SIANG
分类号 C23C14/22;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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