| 摘要 |
<p>본 발명은 라인카메라를 이용한 평판 디스플레이의 패턴검사방법에 관한 것으로서, 일정한 패턴 주기 값을 갖는 패턴에는 물론이고 패턴의 주기 값이 불규칙한 경우에도 적용될 수 있도록 패턴에 대한 1차원 디지털 값 분포를 주파수 확장을 적용한 디지털 푸리에 변환(DFT : Digital Fourier Transformation)을 통해 주파수 분포로 변환함으로써 패턴의 주기 위치를 명확하게 찾을 수 있을 뿐만 아니라 불규칙한 패턴의 주기 값을 자동으로 인식할 수 있어 정밀한 패턴 검사를 수행할 수 있고, 패턴의 장착오차에 영향을 받지 않고 정밀한 패턴 검사를 수행할 수 있는 효과를 제공하게 된다.</p> |
