发明名称 Diamond-ZnO surface acoustic wave device having relatively thinner ZnO piezoelectric layer
摘要
申请公布号 EP0766383(B1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19960115405 申请日期 1996.09.25
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 KITABAYASHI, HIROYUKI;NAKAHATA, HIDEAKI;HIGAKI, KENJIRO;FUJII, SATOSHI;SHIKATA, SHIN-ICHI
分类号 H03H9/145;H03H9/02;H03H9/25;(IPC1-7):H03H9/02 主分类号 H03H9/145
代理机构 代理人
主权项
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