| 主权项 |
1.一种在一流体容器(1)内用来处理基板(12)之装置,其具一流体容器(1)及一可运动至流体容器(1)上之基板输送装置(6或7),其特征为,二输送装置被设计成顶盖为多个基板用,其至少有一基板固持装置(20或21),此基板固持装置将基板(12)固持在第一位置上,并在第二位置将基板释出,基板输送装置(7或6)相互固定连接在一起,基板输送装置(7或6)可在流体容器(1)上作线性运动,作往复定位,且基板固持装置(20.21)至少有一可转动固持杆。2.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,以一共同之装置来同时驱动二基板输送装置(6.7)。3.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,至少有一基板加料及/或卸料站(2.3),以进行输送装置(6.7)之加料及/或卸料。4.根据申请专利范围第3项所述之装置,其特征为,至少在一加料及/或卸料站(2.3)有一装置(9)用以将基板载具(10)脱乾。5.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,固持杆(20.21)可藉转动,从固持基板(12)之第一位置进入释出基板(12)之第二位置。6.根据申请专利范围第5项所述之装置,其特征为,顶盖(6.7)二相对立之壁面上设有基板(12)用之细缝(16或17)。7.根据申请专利范围第1项所述之装置,其特征为,固持杆(20.21)在固持基板(12)之第一位置范围设有基板(12)用之细缝。8.根据申请专利范围第1项述之装置,其特征为,顶盖(6.7)是一程序顶盖,其为至少一种流体用之入口开口(13)。9.根据申请专利范围第3项所述之装置,其特征为,加料及/或卸料站(2.3)各有一基板举升或下降装置(4或5),用以将基板(12)举升及/或下降,以进入或退出输送装置(6.7)。10.一种在一流体容器(1)内用于处理基板(12)之方法,其具有第一及第二基板输送装置(6.7),其设计为顶盖用为接收各多个基板之用,根据前述申请专利范围中任一项所述,其特征为,在流体容器(1)上基板输送装置(6或7)之基板(12)被处理,而另一基板输送装置(7或6)则进行基板(12)之卸料及/或基板(6.7)之加料。11.根据申请专利范围第10项所述之方法,其特征包括下列程序步骤:a)基板(12)从流体容器(1)中举出,进入第一设计成顶盖之基板输送装置(6),同时,在第二加料及/或卸料站上之第二基板输送装置(7)则进行加料;b)线性移动此二基板输送装置(7.6)至一位置,使第一基板输送装置在第一加料及/或卸料站上,而第二基板输送装置则在流体容器(19)上;c)将基板从第一基板输送装置(6)中取出,送进在第一加料及/或卸料站(2)中之基板载具内,同时将基板(12)从第二基板输送装置(7)取出,送进流体容器(1)内;d)线性移动此二基板输送装置(6.7)到一位置,使第一基板输送装置(6)在流体容器(1)上,而且第二基板输送装置(7)在第二加料及/或卸料站(3)上。12.根据申请专利范围第11项所述之方法,其特征为,基板(12)之锁定系藉第一及/或第二基板输送装置(6.7)固持杆(20或21)之转动进入固持基板(12)之第一位置而造成,而且基板(12)之释出系藉第一及/或第二基板输送装置(6.7)固持杆(20或21)之转动进入释出基板(12)之第二位置而造成。13.根据申请专利范围第11项所述之方法,其特征为,基板(12)在程序a),从流体容器(1)中举出,进入第二基板输送装置(7)时被脱乾。14.根据申请专利范围第13项所述之方法,其特征为,基板(12)在从流体容器(1)中举出,进入设计成顶盖之输送装置(6)时,有一气体被引进顶盖内。15.根据申请专利范围第10项所述之方法,其特征为,在第一及/或第二加料及/或卸料站(2.3)内之基板载具(10)在第一及/或第二基板输送装置(6.7)加料后被脱乾。16.根据申请专利范围第15项所述之方法,其特征为,有一脱乾气体吹在基板载具(10)上。图式简单说明:第一图为根据本发明装置之实施例之剖面图。 |
