| 主权项 |
1.一种真空处理装置,包含:进行加工处理晶圆之多数个处理装置;进行晶圆搬送之搬送处理装置;及,控制该等处理装置及搬送处理装置之控制装置,其特征为:至少将2个以上之加工处理装置安装于搬送处理装置上,而使用该加工处理装置进行晶圆之处理,上述控制装置,包含:记忆真空处理系统内晶圆的处理顺序之处理顺序资讯记忆手段;产生显示各加工处理装置之可运转或不可运转状态之运转资讯信号的运转资讯信号产生手段;记忆上述运转资讯信号产生手段所产生之可运转资讯信号的运转资讯信号记忆手段;整合上述运转资讯信号的处理顺序资讯,遮断不可运转之加工处理装置,仅使用可运转加工处理装置持续运转之装置控制手段。2.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中产生显示各加工处理装置可运转之各运转资讯信号的运转资讯信号产生手段系使用各加工处理装置之电源的遮断信号。3.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中产生显示各加工处理装置之各运转资讯信号的运转资讯信号产生手段系使用设定各加工处理装置的可运转或不可运转之运转切换信号。4.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中产生显示各加工处理装置之各运转资讯信号的运转资讯信号产生手段系使用指示各加工处理装置的可运转或不可运转之运转控制信号。5.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中设定显示各加工处理装置的可运转或不可运转的各运转资讯信号之时期系设定于装置运转开始前者。6.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中设定显示各加工处理装置的可运转或不可运转的各运转资讯信号之时期系设定于装置运转中者。7.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中设定显示各加工处理装置的可运转或不可运转的各运转资讯信号之时期系选择于装置运转中实施,运转中中断或再启动其装置运转,再启动运转后,设定不可运转处理装置系与处理经路形成一体,可运转处理装置系持续进行晶圆之处理者。8.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中设定显示各加工处理装置的可运转或不可运转的各运转资讯信号之时期系选择于装置运转中实施,中断及再启动运转中的装置运转,使用晶圆处理所使用之加工处理装置进行中断为止前之不同或相同的处理,且于其他或相同处理完成之后,使中断之晶圆处理再启动而持续进行晶圆处理者。9.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中将可运转之加工处理装置安装于处理经路进行连续之运转中,仍可操作指示不可运转之加工处理装置者。10.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中更包含2处以上可进行装置运转之运转控制装置。11.如申请专利范围第10项记载之真空处理装置,其中上述运转控制装置系于装置之维修侧与装置之非维修侧处,分别具有1处以上者。12.如申请专利范围第11项记载之真空处理装置,其中当以装置之维修侧的操作部进行操作时,装置之非维修侧之操作部系构成不可进行操作者。13.如申请专利范围第1项记载之真空处理装置,其中将可运转之加工处理装置安装于处理经路进行连续之运转中,进行不可运转之加工处理装置之维修作业时,可运转装置系沿着处理经路进行处理者。14.一种真空处理装置之运转方法,系针对进行晶圆加工处理之多数个加工处理装置;进行晶圆搬送之搬送处理装置;及,控制该等装置之控制装置所构成,该搬送装置至少具有2个以上之前述多数个加工处理装置连接其上,藉该等加工处理装置处理晶圆之方法,其特征为,包含:进行前述各加工处理装置为可运转或不可运转的状态判断之步骤;根据前述判断步骤,将不可运转的加工处理装置分离之步骤;使用前述搬送处理装置,将晶圆搬送至可运转的加工处理装置内之步骤;及,仅使用该可运转之加工处理装置,进行晶圆处理之步骤,前述控制装置,包含真空处理装置中记忆处理晶圆指令之处理指令记忆装置;运转资讯信号产生装置系产生显示各加工处理装置之可运转或不可运转之运转资讯信号;运转资讯信号记忆手段是记忆显示各加工处理装置之可运转的运转资讯信号之运转资讯信号记忆手段;及,整合处理顺序资讯及运转资讯信号,遮断不可运转之加工处理装置,仅使用可运转加工处理装置持续运转之装置控制手段。15.如申请专利范围第14项记载之方法,其中判断步骤所判断处理装置之可运转或不可运转系运用来自运转资讯信号产生装置的运转资讯信号;分离不可运转之加工处理装置之步骤系根据前述控制装置比较前述处理指令信号之可运转信号;及,搬送前述处理装置中可运转之晶圆的步骤,晶圆之处理系仅使用包括前述操作资讯信号记忆装置及控制装置之可运转处理装置者。图式简单说明:第一图系表示根据本发明之真空处理装置的一实施例的平面图。第二图系表示根据本发明之真空处理装置的其他实施例的平面图。第三图系根据本发明之清洗运转的流程图。第四图为第一图之实施例的真空处理装置之装置控制手段的控制构成图。第五图系表示第一图之实施例的真空处理装置之装置控制手段的运转资料信号图。第六图系表示第一图之实施例的真空处理装置之装置控制手段的处理顺序情报图。第七图为第一图之实施例的真空处理装置之装置控制手段的自动运转流程图。第八图系详细地表示第七图之自动运转流程之流程图。第九图系表示第一图之实施例的真空处理装置发生异常后之自动运转再开始处理的动作状态图。第十图系表示第一图之实施例的真空处理装置,在自动运转中之处理装置运转切离处理之动作状态图。第十一图系表示第一图之实施例的真空处理装置,在自动运转中之引示盒(pilot cassette)之状态变化图。第十二图系为了切离真空处理装置之处理装置的构成图。第十三图系表示主操作部和补助操作部之操作上的互锁流程图。 |
