发明名称 新结构蒸发镀膜材料
摘要 本实用新型公开了一种新结构蒸发镀膜材料,该材料是圆环形状的石英玻璃环,密度均匀一致;所述石英玻璃环的截面为矩形;由于熔融石英玻璃环是块状固体,密度均匀一致,蒸发时间要比颗粒状石英来得长,故而能适应长时间地镀制多层光学薄膜;由于熔融石英玻璃环是整体的,故而受电子束加热能较均匀地蒸发,故而在镀制高精度光学薄膜时,能得到均匀性较好的薄膜,使得成品度提高。
申请公布号 CN2461937Y 申请公布日期 2001.11.28
申请号 CN00240733.7 申请日期 2000.10.23
申请人 彭守敏 发明人 彭守敏
分类号 C23C14/10;C23C14/30 主分类号 C23C14/10
代理机构 苏州创元专利事务所有限公司 代理人 范晴
主权项 1.一种新结构蒸发镀膜材料,其特征在于:该材料是圆环形状的石英玻璃环[1],密度均匀一致。
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