发明名称 | 新结构蒸发镀膜材料 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种新结构蒸发镀膜材料,该材料是圆环形状的石英玻璃环,密度均匀一致;所述石英玻璃环的截面为矩形;由于熔融石英玻璃环是块状固体,密度均匀一致,蒸发时间要比颗粒状石英来得长,故而能适应长时间地镀制多层光学薄膜;由于熔融石英玻璃环是整体的,故而受电子束加热能较均匀地蒸发,故而在镀制高精度光学薄膜时,能得到均匀性较好的薄膜,使得成品度提高。 | ||
申请公布号 | CN2461937Y | 申请公布日期 | 2001.11.28 |
申请号 | CN00240733.7 | 申请日期 | 2000.10.23 |
申请人 | 彭守敏 | 发明人 | 彭守敏 |
分类号 | C23C14/10;C23C14/30 | 主分类号 | C23C14/10 |
代理机构 | 苏州创元专利事务所有限公司 | 代理人 | 范晴 |
主权项 | 1.一种新结构蒸发镀膜材料,其特征在于:该材料是圆环形状的石英玻璃环[1],密度均匀一致。 | ||
地址 | 214000江苏省无锡市梁溪路100号 |