塑料瓶内壁非晶碳镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种利用碳源气体在微波激发下形成等离子体而在塑料瓶内壁沉积非晶碳薄膜的塑料瓶内壁非晶碳镀膜机,该机至少包含一个这样的结构单元,一个由真空系统操纵从而可造成塑料瓶内腔真空的装置,一个使微波发生系统发生的微波作用于塑料瓶,使塑料瓶内腔的产生碳源气体形成等离子体的谐振腔;还有一个与碳源气体注入系统连通并可向塑料瓶内腔注入碳源气体的碳源气体通道。由本机器加工的塑料瓶有效控制瓶内气体从瓶壁流失和瓶外气体从瓶壁渗入。

主权项

1．一种在塑料瓶内壁镀上非晶碳薄膜的塑料瓶内壁非晶碳镀膜机，包括机架、微波发生系统、真空系统和碳源气体注入系统，其特征在于，该镀膜机至少包含一个这样的结构单元：一个由真空系统操纵从而可造成塑料瓶内腔(20)真空的装置；一个使微波发生系统发生的微波作用于塑料瓶，使塑料瓶内腔的碳源气体形成等离子体的谐振腔(4)；还有一个与碳源气体注入系统连通并可向塑料瓶内腔(20)注入碳源气体的碳源气体通道。