发明名称 QUANTUM WELL THERMOELECTRIC MATERIAL ON VERY THIN SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1155460(A1) 申请公布日期 2001.11.21
申请号 EP19990960340 申请日期 1999.11.12
申请人 HI-Z TECHNOLOGY, INC. 发明人 GHAMATY, SAEID;ELSNER, NORBERT, B.
分类号 C23C14/06;H01L29/06;H01L35/14;H01L35/22;H01L35/26;H01L35/32;H01L35/34;H02N11/00;(IPC1-7):H01L35/00;H01L35/28;H01L35/30;H01L31/032;F25D25/00 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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