| 发明名称 |
Process for preparing thin semiconductor films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0763849(B1) |
申请公布日期 |
2001.11.21 |
| 申请号 |
EP19960401932 |
申请日期 |
1996.09.10 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BRUEL, MICHEL |
| 分类号 |
C30B31/22;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B31/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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