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发明名称 DRIVING DEVICE ON PLANE SURFACE
摘要
申请公布号 JPS58173843(A) 申请公布日期 1983.10.12
申请号 JP19820057848 申请日期 1982.04.07
申请人 TERUMETSUKU:KK 发明人 ASAKAWA TERUO
分类号 H01L21/68;G03F7/20;H02K41/02;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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