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发明名称
摘要
申请公布号 JP3229312(B2) 申请公布日期 2001.11.19
申请号 JP19900244145 申请日期 1990.09.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/458;C23C16/505;C23C16/509;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/505 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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