| 摘要 |
<p>Diese Erfindung betrifft ein Ellipsometer zur Untersuchung einer Probe (50), wobei das Ellipsometer eine breitbandige Lichtquelle (1) auf einer Senderseite (A) und einen Detektor (8) für einen von der Probe (50) reflektierten Empfängerlichtstrahl (3B) auf einer Empfängerseite (B) aufweist. Eine refraktive Optik zur Erzeugung eines Meßflecks auf der Probe und eine auf der Senderseite (A) angeordnete erste Blende (2) zur Definition eines Meßflecks auf der Probe. Dadurch ist es möglich, mit einem spektroskopischen Ellipsometer auf einfache Weise einen genau definierten Meßfleck auf der Probe (50) zu erzeugen.</p> |
