电弧离子镀沉积氮化钛铌超硬质梯度薄膜技术

摘要

本发明属金属材料表面改性技术领域。该技术通过调节电弧离子镀纯钛、纯铌金属阴极靶在镀膜过程中弧电流随时间函数的连续变化,来控制薄膜沉积生长到不同厚度时的成分,合成结合力好,硬度超过普通氮化钛铌薄膜峰值硬度的氮化钛铌超硬质梯度薄膜。该方法沉积速度快,成分控制范围宽,且容易操作。

主权项

1、电弧离子镀沉积氮化钛铌超硬质梯度薄膜技术的工艺过程是，工件经过清洗干燥后放入设备真空室中，经过抽真空、通氩气、启弧、加负偏压、溅射清洗、通氮气、镀膜、停弧、断电、炉冷等阶段后取出工件，其特征在于，在镀膜阶段，选择纯钛和纯铌作阴极靶材，两种靶材相间隔置于电弧离子镀的弧源位置上，镀膜开始时，将钛弧流调至62～68A不变，最好是65A不变，启铌弧，在35～45分钟内，最好是在40分钟内，铌弧流从100～105A，最好是102A，均匀连续调节到88～95A，最好是90A，接下来将铌弧流保持不变，在18～22分钟内，最好是20分钟内，再将钛弧流均匀连续调节到73～78A，最好是75A。