发明名称
摘要
申请公布号 JP3228263(B2) 申请公布日期 2001.11.12
申请号 JP19990076054 申请日期 1999.03.19
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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