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发明名称 Interference measuring apparatus
摘要
申请公布号 EP1037019(A3) 申请公布日期 2001.11.07
申请号 EP20000105083 申请日期 2000.03.10
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIZUKA, KOH;KADOWAKI, HIDEJIRO;KANEDA, YASUSHI;KATO, SHIGEKI;KADOSHIMA, TAKAYUKI;HORYU, SAKAE
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01D5/26;G01D5/34;(IPC1-7):G01D5/34;G02B5/30 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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