磨料制品及其制造方法以及研磨设备

摘要

本发明揭示了一种磨料制品，它包括一具第一和第二主表面的基片、涂覆在第一主表面上的磨料涂层、以及多个设置在第二主表面上的扣接柱。该磨料涂层可以包括多个形状精确的磨料复合体，这些磨料复合体包括了多个分散在一粘合剂中的磨粒。该诸扣接柱适于扣合在一相对表面上的接合结构，以使磨料片体可释放地粘附于该表面。还揭示了制造这些磨料制品的一方法。还揭示了一种用来在研磨过程中支承该磨料制品的支承垫板。该支承垫板包括一如聚合物背衬之类的支承部分、一如毛圈材料之类的接合部分，以用来接合从磨料制品上突伸的诸扣接柱。$＃!

主权项

1．一种能可释放地粘附于一具有接合结构的相对表面的磨料制品，包括：a)一带第一和第二主表面的基片；b)设置在所述第一表面上的研磨装置；其特征在于，还包括c)设置在第二表面上并自所述第二表面突伸的多个扣接柱，每个所述扣接柱包括用来和所述接合结构扣合的装置，以将磨料制品可释放地连接于所述相配表面。