| 摘要 |
본원은, 용기(14)로부터 배급지점으로 저용량에 제어된 유량의 유체를 펌핑하는 압전기 마이크로펌프(10)에 관한 것이다. 펌핑동작은 2개 또는 3개 다이어프램(40, 42, 44)의 동작으로 창출된다. 각각의 다이어프램의 동작은 부착된 압전기 작동기(46, 48, 50)의 팽창 및 수축으로 발생된다. 다이어프램(40, 42, 44)의 동작의 협동작용은 유체의 일정방향 흐름을 창출한다. 상기 압전기 작동기(46, 48, 50)는 다이어프램(40, 42, 44)의 편향력을 더 크게 제공하도록 다이어프램(40, 42, 44)과 펌프 몸체(22) 사이에서 외팔보로 설치된다. 양호하게, 압전기 작동기(46, 48, 50)는 다이어프램(40, 42, 44)이 밀봉과 펌핑 모두로서 기능할 수 있도록 압전기 바이모르프(piezoelectric bimorphs)이다. |
