发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN VON SCHICHTIGEN SUPERGITTERMATERALIEN DURCH CHEMISCHE ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE
摘要
申请公布号 DE69428444(D1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 DE1994628444 申请日期 1994.06.30
申请人 SYMETRIX CORP., COLORADO SPRINGS;OLYMPUS OPTICAL CO., LTD. 发明人 PAZ DE ARAUJO, A.;WATANABE, HITOSHI;SCOTT, C.;MIHARA, TAKASHI
分类号 C30B29/10;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/56;C23C18/12;C30B7/00;C30B25/02;C30B29/68;C30B31/22;C30B33/02;H01C7/10;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 C30B29/10
代理机构 代理人
主权项
地址