基于激光束感应电流的微激光束扫描谱装置

摘要

本实用新型公开了一种基于激光束感应电流的微激光束扫描谱装置,该装置包括氦氖激光器、声光调制器、光束扩束器、光束分束器、CCD摄像机、会聚显微物镜、置于带有两个步进马达的三维样品调整架上的样品、放大器、计算机。激光束经扩束和会聚后入射到样品上,样品产生的感应电流信号经放大器放大。整个测试由计算机控制、采集、存储及数据处理。本装置结构简单、测量方便、对样品没有破坏,可用于大面积光伏型器件工艺过程的在线检测,还可以用于半导体材料电活性缺陷的测量。

主权项

1．一种基于激光束感应电流的微激光束扫描谱装置，包括氦氖激光器、声光调制器、反射镜、光扩束器、光分束器、CCD摄像机、会聚显微物镜、样品、步进马达、三维样品调整架、前置放大器、锁相放大器、数字电压表、计算机，其特征在于：氦氖激光器发射的光源(1)前进的方向上依此置有声光调制器(2)、45°平面全反射镜(3)、光扩束器(4)、光分束器(5)、CCD摄像机(6)、会聚显微物镜(7)、置于带有步进马达(10)、(11)的三维样品调整架(9)上的样品(8)；样品上产生的感应电流输出经前置放大器(12)、锁相放大器(13)、数字电压表(14)、计算机(15)相联；步进马达(10)、(11)与计算机相联；激光光源(1)经声光调制器(2)调制后，经过45°平面全反射镜(3)反射，通过光束扩束器(4)扩束，经分束器(5)后，光束进入会聚显微物镜(7)，经会聚显微物镜(7)会聚的激光束入射到样品(8)上，一部分光经样品表面反射再经会聚显微物镜(7)、光分束器(5)，入射到CCD摄像机(6)。