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发明名称
摘要
申请公布号
JP2001520458(A)
申请公布日期
2001.10.30
申请号
JP20000516370
申请日期
1998.08.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/302;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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